无尘车间相对湿度控制不好，就会使无尘车间整体主要表现降低，并且还会继续产生下列这些一系列的危害。

1、细菌生长。细菌和别的生物污染(霉菌，病毒，细菌，满虫)在相对湿度超出60%的自然环境中能够活跃性地繁育。一些有益菌在相对湿度超出30%时就可以提高。而相对湿度处在40%至60%的范畴中间时，能够使病菌的危害及其上呼吸道感染降至最少。因此无尘车间的相对湿度必须控制在一定范畴。

2、相对湿度控制不好，容易导致无尘车间里的金属腐蚀。许多化学变化的速率，包含浸蚀全过程，将伴随着相对湿度的提高而加速。曝露在无尘车间周边空气中的表面都迅速的被遮盖上最少一层单分子层的水。当这种表面是由能够与水反映的薄金属材料镀层构成时，高湿度能够使反映加快。一些金属材料，比如铝，能够与水产生一层维护型的金属氧化物，并阻拦进一步的氧化还原反应；另一种金属材料，比如氧化铜，不是具备维护工作能力的。在高湿度的自然环境中，铜制表面更非常容易遭受浸蚀。

3、无尘车间相对湿度控制不好会出现静电作用。当相对湿度超出50%时，静电作用刚开始快速消退，可是当相对湿度低于30%时，他们能够在导体和绝缘体或是未接地装置的表面上不断存有较长一段时间。无尘车间相对湿度在35%到40%中间能够做为一个比较满意的，半导体材料无尘车间一般都应用附加的控制设备以限定静电作用的累积。

4、吸水能力。相对湿度控制不好，对无尘车间吸水能力产出率一定的危害。

5、水蒸气冷疑。在相对湿度较高的无尘车间自然环境中，萃取水形的毛细管力在颗粒物和表面中间产生了联接键，能够提升颗粒物与硅质的表面的黏附力。这类效用称之为凯尔文萃取，便是当相对湿度低于50%时并不重要，但当相对湿度在70%上下时，就变成颗粒物中间粘附的关键能量。

6、无尘车间的湿度在40%至60%的范畴一样也是人们觉得舒服的适当范畴。假如无尘车间湿度过过高让人感觉憋闷，而湿度小于30%则会令人觉得干躁，皮肤皲裂，呼吸系统不适感及其感情上的很慢，进而影响工作状态。

7、无尘车间光刻的衰退。在半导体材料无尘车间中最急需解决适当控制的是光刻胶的敏感度。因为光刻胶对相对湿度极其比较敏感的特点，它对相对湿度的控制范畴的规定是最严苛的。相对湿度和溫度针对光刻胶可靠性及其精准的规格控制全是很重要的。乃至是在控温标准下，光刻胶的黏性将伴随着相对湿度的升高而快速降低。自然，更改黏性，便会更改由固定不动成分镀层产生的防护膜的薄厚。

除此之外，在高的相对湿度自然环境下，因为水份的消化吸收，使烤制循环系统后光刻胶澎涨加剧。光刻胶粘合力一样还可以遭受较高的相对湿度的不良影响；较低的相对湿度(约30%)使光刻胶粘附更为非常容易，甚至不需要聚合改性剂，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。